上海精測半導(dǎo)體 12寸獨立式OCD機(jī)臺與全自動Review SEM設(shè)備出機(jī)

2021年7月13日，在上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司成立三周年之際，經(jīng)過全體精測人的努力拼搏，迎 來了屬于自己的榮耀時刻：國內(nèi)首臺12寸獨立式光學(xué)線寬測量設(shè)備（OCD）與國內(nèi)唯一12寸全自動 電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）順利出機(jī)。

國內(nèi)首臺12寸獨立式光學(xué)線寬測量機(jī)臺

12 寸獨立式光學(xué)線寬測量機(jī)臺 (OCD) 是該類型的國內(nèi)首臺機(jī)臺，主要用于 45nm 以下、特別是 28nm 平面CMOS 工藝的量測，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點的快速線寬測量。EPROFILE 300FD 測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機(jī)臺。

配套 EPROFILE 300FD，上海精測還同時發(fā)布了新一代電磁場仿真建模工具 J_ProfilerTM V3.0 ；該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運算服務(wù)器上進(jìn)行 OCD 建模與庫匹配，可以在獲取復(fù)雜三維納米結(jié)構(gòu)光譜變化信息后，實時高速的對于納米結(jié)構(gòu)的各個維度精確值進(jìn)行計算。

EPROFILE 300FD 和 J_ProfilerTM V3.0 將為國內(nèi)高節(jié)點產(chǎn)線提供穩(wěn)定、實時、高速的量測解決方案。

12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備

12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（ReviewSEM）是上海精測半導(dǎo)體的另一項主力產(chǎn)品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關(guān)鍵核心部件均為自主設(shè)計，自主知識產(chǎn)權(quán)，并用了近兩年的時間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產(chǎn)化供應(yīng)鏈。此次出廠的機(jī)臺配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動缺陷檢測與分類算法，將進(jìn)一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。

上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司通過自主構(gòu)建研發(fā)團(tuán)隊及海外并購引入國產(chǎn)化等手段，實現(xiàn)半導(dǎo)體測試、制程設(shè)備的技術(shù)突破及產(chǎn)業(yè)化，成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體測試設(shè)備供應(yīng)商及服務(wù)商。通過與多家知名研發(fā)中心、大學(xué)院校開展合作，共同開發(fā)新型檢測解決方案，提升國內(nèi)半導(dǎo)體檢測裝備行業(yè)的技術(shù)水平。